5纳米制程是半导体制造制程的一个水准。在半导体器件制造中,《国际器件和系统路线图》将5纳米工艺定义为继7纳米之后金属氧化物半导体场效晶体管的又一技术节点。商用5纳米制程基于具有FinFET的多闸极晶体管技术,还有已得到证明的5纳米多闸极晶体管技术,但尚未商业化。2020年9月15日,由台积电制造的Apple A14成为首个公开发表的5纳米制程芯片。
5纳米制程是半导体制造制程的一个水准。在半导体器件制造中,《国际器件和系统路线图》将5纳米工艺定义为继7纳米之后金属氧化物半导体场效晶体管的又一技术节点。商用5纳米制程基于具有FinFET的多闸极晶体管技术,还有已得到证明的5纳米多闸极晶体管技术,但尚未商业化。2020年9月15日,由台积电制造的Apple A14成为首个公开发表的5纳米制程芯片。