三甲基硅烷 编辑
三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物，化学式为C3H10Si，结构简式3SiH。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。
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三甲基硅基五羰基锰是一种有机锰化合物，化学式为3SiMn5。它可由三甲基氯硅烷和五羰基合锰酸钠在四氢呋喃中反应得到，或由三甲基硅烷和十羰基二锰反应制得：
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