乙二胺邻苯二酚 编辑
乙二胺邻苯二酚, 也被称为湿蚀刻溶液，是一种用于硅的各向异性蚀刻溶液。典型的配方包括乙二胺、邻苯二酚、吡嗪和水。本品具有致癌性以及非常强的腐蚀性。主要用于研究实验室里，在主流半导体制程里并无应用。
1