六甲基环三硅氮烷

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六甲基环三硅氮烷，简称HMCTS或HMCTSZN，是一种有机化合物，化学式 C6H21N3Si3 或[–Si2–NH–]3。这个分子里面有由三个硅原子和三个氮原子交替排列而成的六元环，每个硅原子都连接两个甲基，氮原子则连接氢原子。它也可以看作是假想化合物环三硅氮烷 [–SiH2–NH–]3的衍生物，或是假想化合物二甲基硅氮烷 2SiNH的三聚体。