二氟二氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl2F2，它可由三氟化锑和四氯化硅在五氯化锑或氯气催化下反应得到，该反应同时会产生其它氟氯化硅。它和过量的二甲胺反应，可以得到二二氟化硅。
氟三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl3F。它可由四氯化硅和三氟化锑在五氯化锑或氯气的催化下反应得到，该反应也会产生硅的其它氟氯化物；四氯化硅和氟化铵长时间回流，也有氟三氯硅烷生成，反应的另一产物是四氟化硅。它可以和二甲胺反应，得到三氟化硅。
原硅酸氧钆是一种无机化合物，化学式为Gd2OSiO4。它可由K3GdCl6和四氯化硅或无定形二氧化硅在氧气流中加热至950~1100 °C反应得到。它也可在氧化钆和二氧化硅的固相高温反应中生成。掺杂其它镧系元素的Gd2OSiO4晶体在光学方面已有较多研究。
硅酸酯是硅的含氧酸形成的酯，其中以原硅酸酯最为常见。它们可由四氯化硅和醇反应制得。硅酸酯可以在水中水解，生成硅酸和相应的醇。
二氟二氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl2F2，它可由三氟化锑和四氯化硅在五氯化锑或氯气催化下反应得到，该反应同时会产生其它氟氯化硅。它和过量的二甲胺反应，可以得到二二氟化硅。
氟三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl3F。它可由四氯化硅和三氟化锑在五氯化锑或氯气的催化下反应得到，该反应也会产生硅的其它氟氯化物；四氯化硅和氟化铵长时间回流，也有氟三氯硅烷生成，反应的另一产物是四氟化硅。它可以和二甲胺反应，得到三氟化硅。
原硅酸氧钆是一种无机化合物，化学式为Gd2OSiO4。它可由K3GdCl6和四氯化硅或无定形二氧化硅在氧气流中加热至950~1100 °C反应得到。它也可在氧化钆和二氧化硅的固相高温反应中生成。掺杂其它镧系元素的Gd2OSiO4晶体在光学方面已有较多研究。
氟三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl3F。它可由四氯化硅和三氟化锑在五氯化锑或氯气的催化下反应得到，该反应也会产生硅的其它氟氯化物；四氯化硅和氟化铵长时间回流，也有氟三氯硅烷生成，反应的另一产物是四氟化硅。它可以和二甲胺反应，得到三氟化硅。
四氯化硅的一些性质如下所述：
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