埃弗哈特-索恩利探测器 编辑
埃弗哈特-索恩利探测器或E-T探测器是一类可以探测二次电子和背散射电子的传感器,被用于扫描电子显微镜中。埃弗哈特-索恩利探测器得名于其设计者托马斯·E·埃弗哈特和理查德·F·M·索恩利。他们在1960年发表的设计中把光管加入到真空腔外的光电倍增管,以处理来自于SEM真空腔中闪烁体探测器的信号,由此提升了二次电子探测器的效率。此前,埃弗哈特已经对弗拉基米尔·佐利金和J·A·拉哈彻曼设计的二次电子探测器做出改进,将其中的电子倍增管改为光电倍增管。包含光波导和高探测效率的光电倍增管的E-T探测器已经成为了SEM中最常用的探测器。
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