Mini wiki
弹性反冲探测分析
编辑
弹性反冲探测分析技术, 也被称作前向反冲散射,是一种离子束分析技术,被用在
材料科学
中,用以分析、测量
固体
或薄膜材料中某种元素的深度分布。 使用
粒子加速器
将某一能量的离子束打到待测样品上,离子与靶固体中的某种元素的原子发生弹性碰撞,一般是由
库仑力
造成的。通过入射离子的动能、弹性碰撞反应截面、散射离子损失的能量等参数,可以检测待测原子在样品中不同深度的富集程度,即不同深度处某种原子所占的比例。
1