电子微探针 编辑
电子微探针，也被称为电子探针显微分析或电子微探针分析仪，是一种用于非破性检定少量固体材料化学成分的分析工具。它是用聚焦很细、直径小于1um的电子束轰击待分析试样上的微小区域，对激发出的特征X射线、二次电子、二次离子、背散射电子、俄歇电子、透射电子、吸收电子、阴极荧光等进行探测和信息处理的现代仪器分析方法，是电子光学技术与X射线光谱分析技术交汇的产物。
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波长色散X射线光谱是一种非破坏性分析技术，可通过测量小波长范围内的特征X射线来获得样品的元素组成信息。该技术产生的光谱中的峰对应于元素的特征X射线，借此可以容易地识别元素。波长色散X射线光谱主要用于化学分析、电子微探针、扫描电子显微镜以及测试原子和等离子体物理的高精度实验。