SOS (半导体) 编辑
蓝宝石上的硅是集成电路制造工艺中的一种外延技术，它将一层较薄的硅生长在蓝宝石晶圆上。SOS技术是CMOS技术中SOI的一部分。
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微影制程是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光阻层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在基板上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆，还可以是其他金属层、介质层，例如玻璃、SOS中的蓝宝石。