光罩护膜 编辑
光罩护膜，即表示是光罩上的膜或薄膜的意思，结构为一薄膜展开在框架上，以免于光罩受到微尘或挥发性气体的污染。自1970年代后期即开始发展，早期的保护膜大都使用硝化纤维素，其波长在350～450nm，折射率约为1.5，厚度则2.85 mm。因为硝化纤维素在小于350nm的波长有明显的吸收能力，所以KrF 、ArF 的保护膜则使用非结晶之氟聚合物材质，但是上述的两个材料的折射率皆很低，248nm的折射率约为1.34，193nm 则约1.40，因此很难找到效果良好的抗反射涂层，因此单层薄膜在这些波长下是最常见的。
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