光罩 编辑
光罩:在制作集成电路的过程中,利用光刻技术,在半导体上形成图型,为将图型复制于晶圆上,必须透过光罩作用的原理。比如冲洗照片时,利用底片将影像复制至相片上。
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SOI全名为Silicon On Insulator,是指硅晶体管结构在绝缘体之上的意思,原理就是在硅晶体管之间,加入绝缘体物质,可使两者之间的寄生电容比原来的少上一倍。优点是可以较易提升时脉,并减少电流漏电成为省电的IC,在制程上还可以省略部分光罩以节省成本,因此不论在制程上或是电路上都有其优势。此外,在SOI晶圆本身基板的阻抗值的部分也会影响到元件的表现,因此后来也有公司在基板上进行阻抗值的调整,达到射频元件特性的提升。原本应通过交换器的电子,有些会钻入硅中造成浪费;SOI可防止电子流失,与补强一些原本Bulk wafer中CMOS元件的缺点。摩托罗拉宣称中央处理器可因此提升时脉20%,并减低耗电30%。除此之外,还可以减少一些有害的电气效应。还有一点,可以说是很多超频玩家所感兴趣的,那就是它的工作温度可高达300°C,减少过热的问题。
豪雅是源自日本的跨国公司光学仪器制造商,其名称来自其创业所在的东京都保谷市。其产品涵盖光罩等半导体设备、储存装置、眼镜与隐形眼镜、光学玻璃,乃至信息系统、应用服务提供商等资讯科技服务,同时身为世界透镜领导生产商之一而知名。
台湾光罩是台湾的一家光罩制造公司,成立于1988年,总公司座落于新竹科学园区。
光罩护膜,即表示是光罩上的膜或薄膜的意思,结构为一薄膜展开在框架上,以免于光罩受到微尘或挥发性气体的污染。自1970年代后期即开始发展,早期的保护膜大都使用硝化纤维素,其波长在350~450nm,折射率约为1.5,厚度则2.85 mm。因为硝化纤维素在小于350nm的波长有明显的吸收能力,所以KrF 、ArF 的保护膜则使用非结晶之氟聚合物材质,但是上述的两个材料的折射率皆很低,248nm的折射率约为1.34,193nm 则约1.40,因此很难找到效果良好的抗反射涂层,因此单层薄膜在这些波长下是最常见的。
光罩盒,意为储存光罩的盒子,主要用于避免光罩遭受外部微尘粒子及化学污染。
在微技术领域中,光罩检测是检查光罩制作正确性的操作技术。用于定位光罩缺陷的是高级自动化系统,如扫描电子显微镜等。“光罩检测”一词也可能非正式地指称真正写入光罩前的光罩资料检测。
豪雅是源自日本的跨国公司光学仪器制造商,其名称来自其创业所在的东京都保谷市。其产品涵盖光罩等半导体设备、储存装置、眼镜与隐形眼镜、光学玻璃,乃至信息系统、应用服务提供商等资讯科技服务,同时身为世界透镜领导生产商之一而知名。