光阻 编辑
光刻胶，亦称为光阻或光阻剂，是指经过紫外光、深紫外光、电子束、离子束、X射线等光照或辐射后，溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于积体电路和离散元件的细微图形加工。
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光聚合物，又名光活化树脂，是指曝光后可以改变属性的聚合物，通常用以激发这些物质的光都是可见光到紫外线的波段。而所谓的属性改变通常都是结构上的变化，例如材料曝光发生交联后硬化等等。如下图即为一个含有着许多单体、低聚物以及光引发剂的液体照光后固化成为一个硬化的光聚合物的图例。在许多的技术领域中都会用到光聚合物，例如瓷漆和亮光漆也是利用光聚合物来使结构硬化。加入了光聚合物的瓷漆可以在数分之一秒内就完成固化，而利用加热固化的瓷漆却可能得花上半个多小时来完成这一过程。照光固化的物质也被广泛运用于医学、印刷以及光阻等领域。