六氟化物 编辑
六氟化物，一类化合物，其化学式为 XnF6形式。
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六氟化钨为氟与钨形成的无机化合物，化学式WF6。它是无色、有毒、具腐蚀性的气体，密度约13 g/L。六氟化钨为密度最大的气体之一。半导体器件制造行业通常用WF6的化学气相沉积来形成钨膜。这一层膜用于低电阻率的金属半导体器件制造。它是十七种已知的二元六氟化物之一。
六氟化镎  是镎的最高价氟化物，是已知17种二元六氟化物之一。它是一种橙色的固体。六氟化镎非常难以运送，因为它有腐蚀性，放射性和挥发性。
六氟化钨为氟与钨形成的无机化合物，化学式WF6。它是无色、有毒、具腐蚀性的气体，密度约13 g/L。六氟化钨为密度最大的气体之一。半导体器件制造行业通常用WF6的化学气相沉积来形成钨膜。这一层膜用于低电阻率的金属半导体器件制造。它是十七种已知的二元六氟化物之一。
六氟化钋是钋的一种氟化物，也是十八种已知的二元六氟化物之一。它是一种白色不稳定的固体。
六氟化锇是锇元素与氟元素形成的一种无机化合物，化学式为OsF6，它也是已知的17种二元六氟化物之一。
六氟化铼，又称氟化铼， 是铼的一种氟化物。是已知十七种六氟化物之一。
六氟化铱是铱的六氟化物，化学式 IrF6。它是少数有+6氧化态铱的化合物之一。
六氟化铑是一种无机化合物，化学式为RhF6。它是铂系元素最不稳定的六氟化物。六氟化铑是一种黑色固体，也是罕见的铑化合物之一。它是十七种已知六氟化物中的其中一种。
六氟化钼又称氟化钼，是一种无机化合物，化学式 MoF6。 它是钼元素的最高价氟化物。它是一种无色固体，在室温以下融化。它是已知十七种六氟化物之一。
六氟化钌是钌元素与氟元素形成的一种无机化合物，化学式为RuF6，它也是已知的17种二元六氟化物之一。