六氟化钨 编辑
六氟化钨为氟与钨形成的无机化合物，化学式WF6。它是无色、有毒、具腐蚀性的气体，密度约13 g/L。六氟化钨为密度最大的气体之一。半导体器件制造行业通常用WF6的化学气相沉积来形成钨膜。这一层膜用于低电阻率的金属半导体器件制造。它是十七种已知的二元六氟化物之一。
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六氯化钨是一种无机化合物，由钨和氯组成，化学式 WCl6。 在标准情况下，六氯化钨是一种深蓝色的挥发性固体。 在制备钨化合物时，它是一种重要的起始试剂。 其它电中性的六氯化物包括六氯化铼和六氯化钼。 高挥发性的六氟化钨 也是已知的。
四氟氧化钨是一种无机化合物，化学式为WOF4，易水解。其反应活性类似于六氟化钨。
六氯化钨是一种无机化合物，由钨和氯组成，化学式 WCl6。 在标准情况下，六氯化钨是一种深蓝色的挥发性固体。 在制备钨化合物时，它是一种重要的起始试剂。 其它电中性的六氯化物包括六氯化铼和六氯化钼。 高挥发性的六氟化钨 也是已知的。