四氟化硅 编辑
四氟化硅是最常见的硅氟化物。无色气体，遇水发生水解生成氟硅酸，在潮湿空气中发烟。沸点仅高于熔点4 °C。首先由John Davy 在1812年合成。
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1-氟丙烷是一种有机化合物，化学式为C3H7F，是一种气体。它可以环丙烷和氟化氢钾在四氟化硅存在下反应得到。它发生消除反应的能量为58.3 kcal·mol。
氟三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl3F。它可由四氯化硅和三氟化锑在五氯化锑或氯气的催化下反应得到，该反应也会产生硅的其它氟氯化物；四氯化硅和氟化铵长时间回流，也有氟三氯硅烷生成，反应的另一产物是四氟化硅。它可以和二甲胺反应，得到三氟化硅。
氟硅酸、六氟硅酸是化学式为H2SiF6的无机化合物，只存在于溶液中。纯H2SiF6不稳定，容易分解生成HF和四氟化硅。
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氟三氯硅烷是一种无机化合物，化学式为SiCl3F。它可由四氯化硅和三氟化锑在五氯化锑或氯气的催化下反应得到，该反应也会产生硅的其它氟氯化物；四氯化硅和氟化铵长时间回流，也有氟三氯硅烷生成，反应的另一产物是四氟化硅。它可以和二甲胺反应，得到三氟化硅。
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