微机电 编辑
微机电系统是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米尺度内。微机电系统由尺寸为1至100微米的部件组成，一般微机电设备的通常尺寸在20微米到一毫米之间。微机电系统在日本被称作微机械，在欧洲被称作微系统技术。
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