智慧车载系统是由旧有的车载资讯系统结合联网汽车技术所演进而来，过去车载资通讯系统从原先仅仅单纯提供CD播放及车辆状态，一直到近年来因3G/4G/5G网络技术的蓬勃发展，已进入智慧联网的时代，朝着M2M的方向前进。智慧车载系统随时有着庞大运算量，需有高规格的软硬件才能得以实现，透过所谓微机电系统，使得关键零件可以做得越来越微小，而运算效能直线上升，让智慧车载系统得以整合原本各自独立的影音系统、导航系统、行车纪录及主/被动行车安全系统等，发展至此应用功能越来越多元化。
实验室芯片是泛指能整合多种化学、生物分析功能于单一小型芯片上，处理非常微小液量的技术，有时又称微型全分析系统。典型制造法是使用微机电系统技术制出微小尺度的渠道，致动器，传感器等。
Millipede是一种数据存储于聚合体层上的纳米量级“坑”中的非易失性存储器。这种存储器的读写由基于微机电系统的探针完成。这种存储技术允许每平方英寸上高于1TB的数据存储密度，是目前可用的磁介质存储设备的4倍。Millipede存储技术被追求作为硬盘驱动器中磁记录的潜在替代品，以及将技术的物理尺寸缩小到闪存介质的一种手段。
聚二甲基硅氧烷是一种高分子有机硅化合物，通常被称为有机硅。具有光学透明，且在一般情况下，被认为是惰性，无毒，不易燃。聚二甲基硅氧烷是最广泛使用的硅为基础的有机聚合物材料，其运用在生物微机电系统中的微流道系统、填缝剂、润滑剂、隐形眼镜。
芯片级原子钟是使用微机电系统技术制造的紧凑型低功耗原子钟，并结合了低功耗半导体激光器作为光源。基于2001年的一项发明，2003年在国家标准技术研究所上展示了第一个芯片级原子钟物理软件包。这项工作是由美国国防部国防高级研究计划局资助的，目的是开发一种微芯片大小的原子钟，用于便携式设备。在军事装备中，当全球定位系统不可用时，有望为下岗士兵提供更好的位置和战场态势感知，但也可以设想许多民用应用。这些原子钟的商业生产始于2011年。芯片级原子钟是世界上最小的原子钟，其尺寸为4 x 3.5 x 1厘米，重35克，仅消耗115毫瓦的功率，也可以在运行几年后将时间保持在每天100微秒以内。
国际电子元件会议，是每年12月在美国旧金山或华盛顿哥伦比亚特区其中一处举行的年度电子会议。此会议作为一个论坛，在其中报告半导体、电子元件技术、设计、制造、物理与模型等领域中的技术突破。IEDM将世界上工业界与学界的管理者、工程师和科学家聚在一起讨论奈米级CMOS晶体管技术、先进内存、显示、感测器、微机电系统元件、新颖量子与奈米级规模元件、粒子物理学现象、光电工程、功率与能量收集元件、高速元件、制程技术、元件模型化与模拟。
会议也涵盖硅、化合物、有机半导体半导体与新兴材料系统元件的讨论和简报。除技术论文简报外，IEDM包含多个全体简报、小组会议、教程、短期课程与由工业界与学界专家所引导的邀请会谈。
实验室芯片是泛指能整合多种化学、生物分析功能于单一小型芯片上，处理非常微小液量的技术，有时又称微型全分析系统。典型制造法是使用微机电系统技术制出微小尺度的渠道，致动器，传感器等。
新田英之, 生于日本冲縄県那霸市，日本的工学家，专长于微机电系统，纳米技术，生物物理学。东京大学工学部电気系毕业。工学博士。
奈机电系统与 微机电系统概念相似，不过尺度更小。他们承诺具有革命性的能力去测量小到分子尺度的位移和力，并且与纳米科技密切相关。
国际电子元件会议，是每年12月在美国旧金山或华盛顿哥伦比亚特区其中一处举行的年度电子会议。此会议作为一个论坛，在其中报告半导体、电子元件技术、设计、制造、物理与模型等领域中的技术突破。IEDM将世界上工业界与学界的管理者、工程师和科学家聚在一起讨论奈米级CMOS晶体管技术、先进内存、显示、感测器、微机电系统元件、新颖量子与奈米级规模元件、粒子物理学现象、光电工程、功率与能量收集元件、高速元件、制程技术、元件模型化与模拟。
会议也涵盖硅、化合物、有机半导体半导体与新兴材料系统元件的讨论和简报。除技术论文简报外，IEDM包含多个全体简报、小组会议、教程、短期课程与由工业界与学界专家所引导的邀请会谈。
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