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椭圆偏振技术
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椭圆偏振技术是一种多功能和强大的光学技术,可用以取得薄膜的
介电质
性质。它已被应用在许多不同的领域,从基础研究到工业应用,如
半导体
物理
研究、
微电子学
和
生物学
。椭圆偏振是一个很敏感的薄膜性质测量技术,且具有非破坏性和非接触之优点。
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