椭圆偏振技术 编辑
椭圆偏振技术是一种多功能和强大的光学技术,可用以取得薄膜的介电质性质。它已被应用在许多不同的领域,从基础研究到工业应用,如半导体物理研究、微电子学生物学。椭圆偏振是一个很敏感的薄膜性质测量技术,且具有非破坏性和非接触之优点。
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