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三氟氯硅烷
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三氟氯硅烷是一种
化学式
为 SiClF3 的气体。它是由
硅
、
氟
和
氯
组成的化合物。它是
甲硅烷
的
氢
原子被
氟
和
氯
原子代替而成。
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