甲硅烷 编辑
甲硅烷，也称甲烷、硅甲烷，化学分子式为硅氢4，是一种硅烷；有时也被简称为硅烷。它的结构与甲烷类似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室温下，硅烷是一种易燃的气体，在空气中，无需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有学者认为，硅烷本身是很稳定的，在自然状态下，是以聚合物的状态存在的。在超过420摄氏度的环境下，硅烷会分解成硅和氢，因此硅烷可以被用来以薄膜沉积提纯硅，是半导体工业重要的特用电子级气体之一。
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甲锗烷是锗烷中最简单的一种，分子式为GeH4。和同族的甲烷、甲硅烷一样，甲锗烷也是正四面体结构。甲锗烷在空气中燃烧生成二氧化锗和水分子。
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三氟氯硅烷是一种化学式为 SiClF3 的气体。它是由硅、氟和氯组成的化合物。它是甲硅烷的氢原子被氟和氯原子代替而成。
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三氟硅烷是一种无机化合物，可以由甲硅烷的三个氢原子被氟取代而成。
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二氟硅烷是无机化合物，化学式为SiH2F2，是甲硅烷的两个氢原子被氟取代而成的。
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