化学机械抛光 编辑
化学机械平坦化 ,又称化学机械研磨,是半导体器件制造工艺中的一种技术,使用化学腐蚀及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它基板材料进行平坦化处理。
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应用材料公司简称应材,是全球最大的半导体制造设备和服务供应商。主要产品为芯片制造相关类产品,例如原子层沉积、物理气相沉积、化学气相沉积、电镀、侵蚀、离子注入、快速热处理、化学机械抛光、测量学和硅片检测等,并包含配套的服务提供给营运工厂的半导体客户。
应用材料公司简称应材,是全球最大的半导体制造设备和服务供应商。主要产品为芯片制造相关类产品,例如原子层沉积、物理气相沉积、化学气相沉积、电镀、侵蚀、离子注入、快速热处理、化学机械抛光、测量学和硅片检测等,并包含配套的服务提供给营运工厂的半导体客户。
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