扫描式电子显微镜 编辑
扫描电子显微镜，简称扫描电镜，是一种电子显微镜，其通过用聚焦阴极射线扫描样品的表面来产生样品表面的图像。
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背向散射电子绕射技术 是一种利用绕射电子束来鉴别样品结晶学方位的技术。挂载在扫描式电子显微镜中，倾斜角度约70度，加速后的电子束射入样品中，产生反弹的背向散射电子，经过表面晶体结构绕射，携带着样品表面的晶粒方位的资讯，进入探测器中，借此判断其每一颗晶粒的方向性。在知道每一颗晶粒的方位后，因此可用在判断晶界、相鉴别、晶粒方向、织构及应变的分析方法。