扫描电子显微镜 编辑
扫描电子显微镜，简称扫描电镜，是一种电子显微镜，其通过用聚焦阴极射线扫描样品的表面来产生样品表面的图像。
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波长色散X射线光谱是一种非破坏性分析技术，可通过测量小波长范围内的特征X射线来获得样品的元素组成信息。该技术产生的光谱中的峰对应于元素的特征X射线，借此可以容易地识别元素。波长色散X射线光谱主要用于化学分析、电子微探针、扫描电子显微镜以及测试原子和等离子体物理的高精度实验。
埃弗哈特-索恩利探测器或E-T探测器是一类可以探测二次电子和背散射电子的传感器，被用于扫描电子显微镜中。埃弗哈特-索恩利探测器得名于其设计者托马斯·E·埃弗哈特和理查德·F·M·索恩利。他们在1960年发表的设计中把光管加入到真空腔外的光电倍增管，以处理来自于SEM真空腔中闪烁体探测器的信号，由此提升了二次电子探测器的效率。此前，埃弗哈特已经对弗拉基米尔·佐利金和J·A·拉哈彻曼设计的二次电子探测器做出改进，将其中的电子倍增管改为光电倍增管。包含光波导和高探测效率的光电倍增管的E-T探测器已经成为了SEM中最常用的探测器。
在微技术领域中，光罩检测是检查光罩制作正确性的操作技术。用于定位光罩缺陷的是高级自动化系统，如扫描电子显微镜等。“光罩检测”一词也可能非正式地指称真正写入光罩前的光罩资料检测。