极紫外辐射 编辑
极紫外辐射或高能紫外辐射，简称EUV、XUV，是波长在124Nm到10nm之间的电磁辐射，对应光子能量为10EV到124eV。自然界中，日冕会产生EUV。人工EUV可由等离子源和同步辐射源得到。主要用途包括光电子谱、对日EUV成像望远镜及光微影技术等。
EUV是最易被空气吸收的谱段，因此其传输环境需高度真空。
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