氟甲烷 编辑
氟甲烷，也称为甲基氟、氟利昂41、HFC-41，其化学式为碳氢3氟，在常温常压下是无毒、可液化的可燃气体，是甲烷的一氟取代物。氟甲烷用在半导体及电子产品的制程中，在射频场下氟甲烷会溶解氟离子，可选择性的蚀刻硅化合物的薄膜，即反应离子刻蚀。
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三氟甲磺酸甲酯、三氟甲基磺酸甲酯，化学式为CF3SO2-OCH3，是很强的甲基化试剂。它所发生的甲基化反应要比碘甲烷和硫酸二甲酯快约10倍，只亚于氟甲烷-五氟化锑的混合溶液。
一卤甲烷是甲烷的一颗氢原子被卤素取代而成的有机化合物。它们都是卤代甲烷。一卤甲烷有四种，分别是氟甲烷、氯甲烷、溴甲烷和碘甲烷。
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