自动测试设备简称ATE,是指可以利用自动化技术,针对产品进行快速测试的设备,被测试的产品会称为被测器件。简单的自动测试设备可能只包括电脑控制的万用表,也可能是包括许多复杂测试设备,其目的是针对复杂的电子产品进行自动化测器以及故障诊断。自动测试设备也可以测试复杂的电子半导体封装,或进行芯片测试,待测器件可以是单片系统及集成电路。
6
探针卡是晶圆与自动测试设备之间的媒介。探针卡通常直接放在探测器上并用接线连接测试机。它的目的是提供芯片与测试机之间的连结,并完成晶圆测试。通常包印刷电路板和其他要件,这种要件可能是金属或其他材料。